多功能扭矩傳感器

發布時間：

2021-05-26 09:34

來源：

中航科電

多功能傳感器是傳感器技術中的一個新的發展方向。現在一般的單一傳感器只能測量一個物理量。在工業生產、航空航天等領域，為了準確全面地認識對象或環境，以進一步進行控制，往往需要同時測量多個物理量，因此希望盡可能把幾種敏感元件制作在一起，使一個傳感器能同時測量幾個參數，具有多種功能。這種多功能傳感器不但體積小，而且功能強，采集的信息集中，便于進行信息處理。傳感器的多種功能可以由一個敏感元件的不同物理（或化學）效應及其不同的特性來實現。隨著傳感器及微加工技術的發展，人們可以在同一材料或硅片上制作幾種敏感元件，制成集成化多功能傳感器。

多功能傳感器主要有以下幾種不同的實現原理及結構形式。
(1) 幾種不同的敏感元件組合在一起形成一個傳感器，可以同時測量幾個參數。各敏感元件是獨立的。例如把測扭矩和測轉速敏感元件組合在一起，可以同時測量扭矩和轉速。
(2) 幾種不同的敏感元件制作在同一個芯片上，制成集成化多功能傳感器。這種傳感器的集成度高、體積小。由于集成在一個芯片上，各個敏感元件的工作條件相同，容易實現補償和校正，這是多功能傳感器的發展方向。
(3) 利用同一個敏感元件的不同效應，得到不同的信息。如用線圈作為敏感元件，在具有不同磁導率或介電常數物質的作用下，表現出不同的電容和電感。
(4) 同一個敏感元件在不同激勵下的表現出不同特性，例如傳感器施加不同的激勵電壓、電流，或在工作在不同的溫度下，其特性不同，有時可相當于幾個不同的傳感器。
　　有的多功能傳感器檢測出的幾個信息混在一起，需要用信號處理的方法將各種信息進行分離。